SÜSS MicroTec stellt die nächste Mask-Aligner Generation MA8 Gen5 vor, ein Standalone-System für die Imprint-Lithografie.

Garching, 10. Dezember 2020 - SÜSS MicroTec, ein führender Hersteller von Geräten und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie und verwandte Märkte, kündigt die Markteinführung der neuesten Generation des Mask-Aligners MA8 Gen5 an. Das neue halbautomatische Gerät zielt speziell auf die Imprint-Lithografie ab, eine Schlüsseltechnologie für viele moderne Anwendungen wie die Gesichts- oder Fingerabdruckerkennung, Lichtteppiche oder Augmented Reality.

Durch die Weiterentwicklung des SÜSS Nivelliersystems und der Bereitstellung zusätzlicher Funktionsverbesserungen bietet die neue Plattform optimierte Imprint-Verarbeitungsfunktionen für Standard-, erweiterte und High-End-Prozesse. Insbesondere das verbesserte Nivelliersystem stellt ein effektives Mittel dar, um eine noch präzisere Parallelität zwischen Stempel und Substrat zu erreichen.

Die MA8 Gen5 erfüllt die Anforderungen verschiedenster Imprint-Anwendungen in den Bereichen LED, MEMS/NEMS, Mikrooptik, Augmented Reality und optoelektronische Sensoren unter Verwendung der renommierten SÜSS SMILE-Imprint-Technologie. Sie ist eine äußerst attraktive Lösung für die Prozessierung von Wafern bis zu 200 mm.

"Die SÜSS Mask-Aligner sind bereits seit über sieben Jahrzehnten für ihre Zuverlässigkeit und robuste Leistung bekannt", sagt Franz Richter, CEO und Vorstandsvorsitzender der SÜSS MicroTec SE. "Für unsere Kunden bietet diese weiterentwickelte Generation eine Imprint-Lösung, die den Anforderungen der Industrie an Zuverlässigkeit und Präzision entspricht. Sie ermöglicht die effiziente Herstellung von Bauelementen für heutige und künftige Anwendungen. Die neue Aligner-Generation markiert einen wichtigen Meilenstein bei der Erreichung der Ziele unserer Wachstumsstrategie SÜSS 2025."

Die MA8 Gen5 ist als eigenständiges Gerät konzipiert, kann aber auch als Modul in ein vollautomatisches Cluster-System für die Großserienfertigung integriert werden.

Über SÜSS MicroTec
SÜSS MicroTec ist einer der weltweit führenden Hersteller von Anlagen- und Prozesslösungen für die Mikro-strukturierung in der Halbleiterindustrie und verwandten Märkten. In enger Zusammenarbeit mit Forschungsinstituten und Industriepartnern treibt SÜSS MicroTec die Entwicklung von neuen Technologien wie 3D-Integration und Nanoimprint-Lithografie sowie Schlüsselprozesse für die MEMS und LED Produktion voran. Weltweit sind mehr als 8.000 installierte Systeme von SÜSS MicroTec im Einsatz, unterstützt von einer globalen Infrastruktur für Applikationen und Service. Hauptsitz der SÜSS Gruppe ist in Garching bei München. Für weitere Informationen besuchen Sie www.suss.com.

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